Такие изделия специально разрабатывались для создания искусственного разряжения, которое востребовано для осуществления многих производственных процессов практически во всех областях современной промышленности.
Аналогичные установки подразделяются на изделия открытого или закрытого типа: первый вариант совершает откачку из резервуаров при помощи насоса, чтобы создать вакуум — их используют как дополнительное оборудование, а второй вариант — самостоятельные установки, имеющие отдельный корпус и герметичную камеру, где происходят все процессы. Для высокой эффективности применяются аналогичные дублирующие устройства.
Содержание:
- Конструкция вакуумной системы
- Установки вакуумного напыления
- Вакуумная металлизация
- Промышленное применение
- Производители вакуумных установок
Конструкция вакуумной системы
Основным узлом является один или несколько нагнетательных агрегатов, которые выполняют откачивание воздуха в рабочем отсеке устройства, чтобы создать необходимые параметры разряжения.
В комплектацию входят такие элементы:
- Герметическая емкость для вакуума;
- Датчики контроля параметров;
- Соединительные шланги и трубопроводы;
- Запорная арматура;
- Электронные блоки управления;
- Предохранительные клапаны;
- Рама, на которой монтируются все элементы;
- Внешний корпус, защищающий узлы от механического воздействия.
Конструкция вакуумной системы
Перечисленные выше элементы не обязательно присутствуют во всех аналогичных устройствах, кроме них по необходимости могут устанавливаться дополнительные устройства, например, смотровые окна в виде мощных иллюминаторов.
Установки вакуумного напыления
Высокая производительность автоматизированного устройства марки УВН-71П-3М-1 гарантирует ее применение для серийного производства изделий микроэлектроники. В конструкции установки присутствует испаритель, чтобы наносить резистивные сплавы, а также два аналогичных устройства — для нанесения металлического слоя и обеспечивать ионную очистку.
Технические параметры:
- Подложки с размером 60х48 мм — 19 шт.;
- Диапазон температурного режима — 100-350° С;
- Скорость вращения рабочего стола — 10-60 об/мин;
- Время выхода на рабочий режим, куда входит разгон криогенного агрегата — не более часа.
Установки вакуумного напыления
Устройство обеспечивает:
- Сухую откачку при помощи криогенного насоса или ТМН;
- Очистку поверхностей подложек перед напылением с помощью ионного источника, чтобы улучшить проникновение в структуру обрабатываемого материала;
- Автоматическое выполнение технологий процесса;
- Контроль над окончанием напыления по таймеру или по заданным параметрам.
Некоторые компании производят модернизацию аналогичного оборудования и вводят такие новшества: переход на современное электронное оборудование, максимальное повышение технических параметров и надежности работы, сокращение времени последующих ремонтов, снижаются требования к квалификации обслуживающего персонала.
Вакуумная металлизация
Широко применяется сравнительно недавно, но уже доказала, что такой способ намного эффективнее, чем используемое ранее гальваническое нанесение металлизации, потому что слой металла получается более насыщенным, а поверхность получается красивая и привлекательная.
Установки вакуумной металлизации — это совокупность устройств, которые методически и последовательно выполняют несколько функций технологического процесса без вмешательства оператора. Выпускают такие устройства с различными габаритами от нескольких литров до десятков кубометров.
Вакуумная металлизация
Устройство вакуумной установки по металлизации:
- Рабочий отсек, где происходит технологический процесс нанесения металлизации;
- Источник испаряемого металла в совокупности с управляющими и обеспечивающими энергией компонентами;
- Системы управления и контроля над всеми параметрами начиная от температуры и заканчивая толщиной металлической пленки;
- Откачивающая и газораспределительная система, которая обеспечивает создание параметров вакуума и регулировку поступления газа;
- Блокировка рабочих узлов и подачи электрического питания;
- Транспортное устройство, осуществляющее подачу или извлечение заготовок, а также смену их пространственного положения для нанесения металлизации со всех сторон;
- Вспомогательные устройства.
Основные функциональные возможности:
- Откачка воздушной среды для создания вакуума;
- Распыление металлических частиц на поверхность заготовок;
- Транспортирование деталей в камеру и их выемка;
- Контролирование режимов всех процессов вакуумного напыления;
- Обеспечение электричеством.
Различают аналогичные установки для нанесения металлического покрытия в среде вакуума магнетронного и ионно-плазменного класса. Нанесение слоев металла производится без расплавления внешней поверхности материала заготовки.
Промышленное применение
Вакуумные установки широко применяются на различном производстве:
- Нефтепереработка, потому что они способны без проблем откачивать пары, газы и жидкости или их смеси, чтобы
- Обеспечивать искусственным разряжением различные устройства на предприятии;
- Напыление или нанесение пленок различной толщины при обработке различных материалов;
- При промышленном изготовлении ювелирных изделий;
- Декорирование корпусов при производстве настольных или ручных часов;
- Напыление стекол в изготовлении оптики различного назначения;
- Стоматология и протезирование зубов;
- Имитация космического пространства для испытания оборудования или тренировок космонавтов;
- Научные исследования физических тел и химических веществ на реакцию воздействия вакуумной среды.
Промышленное применение
Продолжать список можно до бесконечности.
Производители вакуумных установок
Конкуренция в этом виде промышленного оборудования довольно высокая, но на мировом рынке лидируют такие зарубежные компании:
- Atlas Copco, Швеция;
- Edwards, Англия;
- Becker, Германия.
Производители вакуумных установок - Becker
Продукция этих компаний выделяется высокой производительностью и отменным качеством, поэтому пользуется повышенным спросом.