| Вес, кг | 37 |
| Вход и выход | UFC152 |
| Габаритные размеры, мм | 155x336x340 |
| Категория | Вакуумный насос |
| Модель | PST-100СX/AX |
| Назначение | Промышленный |
| Напряжение, В | 200 |
| Предельное остаточное давление, мбар | 1х10^(-11) |
| Серия | PST |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 100 |
| Скорость откачки по аргону, л/с | 50 |
| Температурный режим, °С | от 5 до 40 |
| Тип | Магниторазрядный (ионно-геттерный) |
| Страна | Япония |
| Производитель | Ulvac |