| Вес, кг | 175 |
| Емкость по аргону, бар·л | 7800 |
| Емкость по водороду, бар·л | 150 |
| Категория | Вакуумный насос |
| Модель | CRYO-U30H |
| Назначение | Промышленный |
| Предельное остаточное давление, мбар | 1x10^(-9) |
| Пропускная способность по аргону, торр-л/с | 20 |
| Серия | Standard |
| Скорость откачки по H2O, л/с | 70000 |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 28000 |
| Скорость откачки по аргону, л/с | 23000 |
| Скорость откачки по водороду, л/с | 43000 |
| Тип | Криогенный |
| Страна | Япония |
| Производитель | Ulvac |
