| Вес, кг | 19 |
| Вход и выход | UVG-150, UFC-203 |
| Емкость по аргону, бар·л | 560 |
| Емкость по водороду, бар·л | 3,1 |
| Категория | Вакуумный насос |
| Модель | CRYO-U6H |
| Назначение | Промышленный |
| Предельное остаточное давление, мбар | 1x10^(-9) |
| Пропускная способность по аргону, торр-л/с | 7,9 |
| Серия | Standard |
| Скорость откачки по H2O, л/с | 2100 |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 750 |
| Скорость откачки по аргону, л/с | 620 |
| Скорость откачки по водороду, л/с | 1100 |
| Тип | Криогенный |
| Страна | Япония |
| Производитель | Ulvac |
